1. Lazerni aniqlash boshi va namunani skanerlash bosqichi birlashtirilgan, tuzilishi juda barqaror va shovqinga qarshi kuchli
2.Precision prob joylashishni aniqlash moslamasi, lazer nuqta hizalamasini sozlash juda oson
3.Bir o'qli haydovchi namunasi avtomatik ravishda zondga vertikal ravishda yaqinlashadi, shunda igna uchi namunani skanerlashga perpendikulyar bo'ladi.
4. Dvigatel bilan boshqariladigan bosimli piezoelektrik keramikani avtomatik aniqlashning aqlli igna oziqlantirish usuli prob va namunani himoya qiladi
5. Avtomatik optik joylashishni aniqlash, diqqatni jamlashning hojati yo'q, real vaqtda kuzatish va prob namunasini skanerlash maydonini joylashtirish
6.Spring suspenziyasi zarbaga chidamli usul, oddiy va amaliy, yaxshi zarba ta'siri
7.Metaldan himoyalangan ovoz o'tkazmaydigan quti, o'rnatilgan yuqori aniqlikdagi harorat va namlik sensori, ish muhitini real vaqt rejimida kuzatish
8. Integrated skaner chiziqli bo'lmagan tuzatish foydalanuvchi muharriri, nanometr tavsifi va o'lchov aniqligi 98% dan yuqori
| Ishlash rejimi | teginish rejimi, teginish rejimi |
| Ixtiyoriy rejim | Ishqalanish/lateral kuch, amplituda/faza, magnit/elektrostatik kuch |
| kuch spektrining egri chizig'i | FZ kuch egri chizig'i, RMS-Z egri chizig'i |
| XY skanerlash diapazoni | 20 * 20um, ixtiyoriy 50 * 50um, 100 * 100um |
| Z skanerlash diapazoni | 2,5um, ixtiyoriy 5um, 10um |
| Skanerlash ruxsati | Gorizontal 0,2nm, Vertikal 0,05nm |
| Namuna hajmi | P≤90mm, H≤20mm |
| Sahna sayohati namunasi | 15 * 15 mm |
| Optik kuzatish | 4X optik ob'ektiv linzalari / 2,5um piksellar sonini |
| Skanerlash tezligi | 0,6-30Hz |
| Skanerlash burchagi | 0-360° |
| Operatsion muhit | Windows XP/7/8/10 operatsion tizimi |
| Aloqa interfeysi | USB2.0/3.0 |
| Shokni yutuvchi dizayn | Bahorli to'xtatilgan / metall himoyalangan quti |
