1. Miniatyuralashtirilgan va olinadigan dizayn, tashish va o'rgatish juda oson
2. Lazerni aniqlash boshi va namunani skanerlash bosqichi birlashtirilgan, struktura juda barqaror va shovqinga qarshi kuchli
3. Nozik prob joylashishni aniqlash moslamasi, lazer nuqtalarini moslashtirishni sozlash juda oson
4. Yagona eksa namunani avtomatik ravishda zondga vertikal ravishda yaqinlashish uchun harakatga keltiradi, shunda igna uchi namunaga perpendikulyar skanerlanadi.
5. Dvigatel bilan boshqariladigan bosimli piezoelektrik seramika avtomatik aniqlashning aqlli igna oziqlantirish usuli prob va namunani himoya qiladi.
6. Avtomatik optik joylashishni aniqlash, diqqatni jamlashning hojati yo'q, real vaqtda kuzatish va prob namunasini skanerlash maydonini joylashtirish
7. Bahor suspenziyasi zarbaga chidamli usul, oddiy va amaliy, yaxshi zarba ta'siri
8. Integratsiyalashgan skanerning chiziqli bo'lmagan tuzatish foydalanuvchi muharriri, nanometr tavsifi va o'lchov aniqligi 98% dan yuqori
Texnik xususiyatlari:
| Ishlash rejimi | teginish rejimi, teginish rejimi |
| Ixtiyoriy rejim | Ishqalanish/lateral kuch, amplituda/faza, magnit/elektrostatik kuch |
| kuch spektrining egri chizig'i | FZ kuch egri chizig'i, RMS-Z egri chizig'i |
| XY skanerlash diapazoni | 20 * 20um, ixtiyoriy 50 * 50um, 100 * 100um |
| Z skanerlash diapazoni | 2,5um, ixtiyoriy 5um, 10um |
| Skanerlash ruxsati | Gorizontal 0,2nm, Vertikal 0,05nm |
| Namuna hajmi | P≤90mm, H≤20mm |
| Sahna sayohati namunasi | 15 * 15 mm |
| Optik kuzatish | 4X optik ob'ektiv linzalari / 2,5um piksellar sonini |
| Skanerlash tezligi | 0,6-30Hz |
| Skanerlash burchagi | 0-360° |
| Operatsion muhit | Windows XP/7/8/10 operatsion tizimi |
| Aloqa interfeysi | USB2.0/3.0 |
| Shokni yutuvchi dizayn | Bahor to'xtatildi |
